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          MSA晶圓加熱載臺

          簡要描述:在進行晶圓測試時,需要MSA晶圓加熱載臺具有設置表面溫度的功能,特別是可以從常溫到高溫范圍內設置的卡盤,以便再現裝入狀態或進行加速測試。

          基礎信息

          產品型號

          廠商性質

          代理商

          更新時間

          2025-03-11

          瀏覽次數

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          詳細介紹
          品牌其他品牌產地類別進口
          應用領域電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合

          晶圓(Wafer)是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓。晶圓是生產集成電路所用的載體,一般意義晶圓多指單晶硅圓片。晶圓是常用的半導體材料,按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸等規格。在進行晶圓測試時,需要晶圓卡盤具有設置表面溫度的功能,特別是可以從常溫到高溫范圍內設置的卡盤,以便再現裝入狀態或進行加速測試。

          MSA晶圓加熱載臺

          標準PH201系列適用于4"/6 "晶圓的標準卡盤,溫度可達200℃。
          PH201系列主要應用
          晶圓溫度特性測試
          帶探頭熱卡盤(Hot Chuck) 
          玻璃卡盤
          基板電氣特性測試


          數字式溫度控制器
          通過一鍵式連接器連接到MSA工廠標準溫度控制器。 通過簡單的操作,可以立即完成高精度的溫度控制。

          通用型卡盤模式
          標準卡盤模式:將工件放置在中心卡盤孔上,即可獲得通用尺寸。 例如,如果卡盤設計為6",那么它可以用于6"、4"、3 "和6 "以下的其他尺寸。

          卡盤表面導電性/絕緣性/泄漏性
          卡盤表面有兩種圖案:鍍金(200℃)導電和陽極氧化(200℃)絕緣。

          MSA晶圓加熱載臺規格

          型號PH201-S-04PH201-K-04PH201-S-06PH201-K-06
          溫度上限200200200200
          盤面尺寸4"6”
          板材鋁合金
          表面處理鍍金黑礬石鍍金黑礬石
          電源電壓AC100V
          選項用于安裝探的適配器(可定制)
          溫度控制器PCC100GPCC107

           

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